Печи с инертной атмосферой, также называемые анаэробными печами, предназначены для термообработки с использованием неокисляющих газов, таких как азот, в герметичной среде. Они подходят для термообработки в атмосфере с низкой концентрацией кислорода.
Описание
Серия печей в инертной атмосфере используется в производстве полупроводников для предварительной обработки кремниевых пластин, арсенида галлия, ниобата лития, стекла перед PR-покрытием, обжига твердой пленки после PR-покрытия и высокотемпературной сушки после проявления; Он также подходит для производственных и научно-исследовательских отделов, таких как электронные жидкокристаллические дисплеи, ЖК-дисплеи, CMOS, IS и лаборатории; его также можно использовать для сушки, термической обработки, старения и других высокотемпературных испытаний нелетучих, негорючих и невзрывоопасных предметов.
Основные параметры
►Технические параметры
Емкость: Подгонянный согласно продуктам
Диапазон температур: окружающая среда+50°C ~ 250°C
Содержание кислорода: ≤50ppm
Однородность температуры: ± 2,5%
Скорость нарастания: контролируемая
Вход азота: Φ8
Поток азота: 0–240 л/мин * 2 канала
►Структура
. Внутренняя часть духовки: Изготовлена из нержавеющей стали и бесшовно сварена аргоном.
. Герметичность: камера герметична для снижения уровня кислорода.
. Конструкция воздухозаборника: позволяет неокисляющим газам заполнять камеру.
. Анализатор O2: точная регулировка уровня кислорода в диапазоне 0,5–21 %.
► Система контроля температуры
Интеллектуальный регулятор температуры JAPAN RKC, настройки программ и фиксированных значений, автонастройка AT, коррекция смещения и удержание при выключении питания.
► Принудительная конвекция воздуха
Запатентованный воздуховод в системе циркуляции горячего воздуха может автоматически регулировать однородность температуры.
Особенности анаэробных (инертных) печей
► Герметично закрытая камера из нержавеющей стали для предотвращения проникновения внешней атмосферы.
► Используйте инертный газ азот для анаэробной термообработки.
► Оборудованы расходомером и манометром.
► Многофункциональные защитные устройства
Параметры
► Программируемый контроллер PLC+7”
► Трехцветная мигающая световая сигнализация
► Ограничитель перегрева
► Ручные предохранительные устройства
Почему стоит выбрать печи с инертной атмосферой?
В настоящее время материалы проводки в цепях сместились с алюминия на медь с более низким удельным сопротивлением. Поэтому при термообработке в обычной сушильной печи медные детали могут окислиться, что приведет к дефектам. Кроме того, также выполняется старение при 250 градусах Цельсия, чтобы проверить, были ли данные, записанные во флэш-памяти, удалены из-за электромиграции и не окислены ли выступающие части, поэтому содержание кислорода должно быть уменьшено до <100 ppm. Эта анаэробная печь была разработана с учетом этих требований.
Приложение
Печи в инертной атмосфере в основном используются для отверждения клея BPO/PI/BCB, ИС (пластины, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, высокоточных электронных компонентов и других материалов в среде с низким содержанием кислорода для испытаний на сушку и старение. .
